3D оптический профилометр Miracle Vision серии MV-1000
- Белая интерферометрия
- Фокусировка по глубине резкости
- Конфокальный режим
- Три метода измерений в одном приборе
Анализ морфологии поверхности
3D оптический профилометр Miracle Vision серии MV-1000 сочетает возможности высокоточного сканирования и алгоритмы с использованием искусственного интеллекта, что обеспечивает анализ рельефа поверхности в масштабе от нанометров до миллиметров, включая такие параметры, как шероховатость, высота ступени, профиль поверхности, кривизну и линейные размеры исследуемого объекта. MV-1000 выполняет измерения без контакта с рабочей поверхностью, что позволяет использовать данные профилометры как неразрушающее средство контроля на различных этапах производства изделий электроники или в процессе научно-исследовательских разработок. Благодаря бесконтактности измерений, отсутствию требований к жесткости поверхности образца, высокой точности и скорости сканирования, 3D оптический профилометр MV-1000 широко применяется в полупроводниковой промышленности, анализе оптических материалов, биочипах, металлургии и прецизионной обработке.
Примеры поверхностей с масштабными отметками 1 мм и 100 мкм.
Главные особенности оборудования
Несколько режимов измерений:
Конфокальный режим, белая интерферометрия (WLI), режим получения изображений с большой глубиной резкости (EDOF).
Высокая точность измерений:
Результаты анализа достигают субнанометровой и нанометровой точности в различных режимах измерений.
Высокая скорость измерений:
Уникальный ИИ-алгоритм обеспечивает мгновенный вывод результатов и измерение «в один клик».
Даже при слиянии множества изображений обработка занимает 1 секунду.
Модульное решение:
Предлагаем модульные решения под задачи: специальные образцы или функциональные требования.
Дополнительные опции
- Антивибрационный стол: Пневмоплатформа для подавления вибраций
- Моторизованный столик: Закрытый контур с растровой шкалой (точность 0.25 мкм).
- Программное обеспечение MV-Inspector для 3D-анализа рельефа поверхности.
Примеры областей применения
Контроль процесса травления
| Параметр | Единица измерения | Среднее | Мин. | Мак | Точка 1 | Точка 2 |
| Максимальная глубина | Нм | 203.665 | 202.986 | 204.345 | 204.345 | 202.986 |
| Средняя глубина | Нм | 201.798 | 201.358 | 202.238 | 201.358 | 201.358 |
МЭМС-устройства
| Параметр | Единица измерения | Точка 1 |
| Ширина | Нм | 21,67 |
| Макс. значение | Мкм | 0,1150 |
| Среднее значене | Мкм | 0,1129 |
Микрофлюидные чипы
Печатные платы
| ISO 25178 – Основные поверхности | ||
| Sq | 0,3901 | мкм |
| Sa | 0,3131 | мкм |
| Параметр | Единица измерения | Точка 1 |
| Максимальная глубина | мкм | 27,52 |
| Средняя глубина | мкм | 26,45 |
Царапины
| ISO 25178 – Основные поверхности | ||
| Vvc | 0,106994 | Мкм3/мкм2 |
| Параметр | Единица измерения | Среднее | Мин. | Мак | Точка 1 | Точка 2 |
| Максимальная глубина | мкм | 1,01347 | 1,00232 | 1,02461 | 1,02461 | 202.986 |
| Средняя глубина | Мкм | 0,997764 | 0,997417 | 0,998112 | 0,998112 | 0,997417 |
Анализ шлифовки металлов
Технические характеристики
| Корпус | Настольный |
| Габаритные размеры (ДхШхВ) | 535 мм × 280 мм × 400 мм, масса < 38 кг |
| Режимы измерений |
- Интерферометрия белого света - EDOF (получение изображений с большей глубиной резкости) - Конфокальный |
| Загрузка/выгрузка подложек | Ручная |
| Тип измеренияповерхности | Изображения (2D/3D), морфология, высота ступеньки, профиль, шероховатость, линейные размеры |
|
Источник света |
Белый светодиод |
| Спектральный диапазон | 420…700 нм |
| Моторизованная турель | на 5 объективов |
| Монохромная камера |
Разрешение 2048×2048 пикселей Размер пикселя 5,5 мкм |
| Точность измерения по оси Z |
1 нм; повторяемость измерения шероховатости RMS: 0,1 нм |
| Рабочий стол |
50x75мм (стандартно ручное исполнение) Ручная подстройка по углу ±3˚ (точность 0,01°) |
| Моторизированный 110 мм × 75 мм (опция) | |
| Система управления |
Windows, процессор i7, 27-дюймовый монитор, клавиатура, мышь Язык ПО: английский Встроенные стандарты по ISO/ASME/EUR/GBT для 2D, 3D параметров Построение 2D, 3D изображений; линейные измерения |
Список доступных объективов для 3D оптического профилометра MV-1000
| Тип объектива | Интерференционный объектив | |||
| Увеличение | 5× | 10× | 20× | 50× |
| Числовая апертура | 0,15 | 0,3 | 0,4 | 0,55 |
| Рабочее расстояние, мм | 9,2 | 7,4 | 4,6 | 3,4 |
| Разрешение, мкм | 1,83 | 0,92 | 0,69 | 0,50 |
| Тип объектива | Объектив светлого поля | Объектив светлого поля с большим рабочим расстоянием | ||||||
| Увеличение | 5× | 10× | 20× | 50× | 100× | 20× | 50× | 100× |
| Числовая апертура | 0,15 | 0,3 | 0,45 | 0,8 | 0,9 | 0,4 | 0,5 | 0,8 |
| Рабочее расстояние, мм | 20 | 11 | 3 | 1 | 1 | 12 | 10,4 | 3,1 |
| Разрешение, мкм | 1,80 | 0,90 | 0,60 | 0,34 | 0,31 | 0,70 | 0,55 | 0,34 |
