Максимальный размер подложки
|
Диаметр 100 мм (4″) , рабочая область 100×100 мм
|
Материал камеры
|
Кварцевое стекло (водоохлаждаемая камера)
|
Высота камеры
|
10 мм
|
Система загрузки подложек
|
Поддон из кварцевого стекла Опциональный держатель из пирографита или графита, покрытого SiC
|
Уровень вакуума
|
- До 10-3 мбар
- До уровня 10-6 мбар (модель RTP 100-HV)
|
Максимальная температура процесса
|
До +1200 °С
|
Тип нагревателя
|
ИК-лампы (общая мощность 18 кВт)
|
Зоны нагрева
|
верхняя и нижняя (программируемые)
|
Скорость нагрева
|
До 150 K/с
|
Скорость охлаждения
|
- От +1200 до +400 °С: 200 К/мин
- От +400 до +100 °С: 30 К/мин
- подложка охлаждается азотом
|
Температурный контроллер
|
Встроенный
|
Используемые газы
|
- Азот, кислород, форминг-газ
- В базовой комплектации один РРГ 5 slm
|
Электропитание
|
3×32 А, 380 В, 3 фазы
|
Размер установки (Ш×Д×В)
|
505×504×420 мм (настольное размещение)
|
Вес печи
|
55 кг
|