Печь быстрого термического отжига RTP 100
Технические характеристики установки RTP 100
| Максимальный размер подложки | Диаметр 100 мм (4″) , рабочая область 100×100 мм |
| Материал камеры | Кварцевое стекло (водоохлаждаемая камера) |
| Высота камеры | 10 мм |
| Система загрузки подложек | Поддон из кварцевого стекла Опциональный держатель из пирографита или графита, покрытого SiC |
| Уровень вакуума |
|
| Максимальная температура процесса | До +1200 °С |
| Тип нагревателя | ИК-лампы (общая мощность 18 кВт) |
| Зоны нагрева | верхняя и нижняя (программируемые) |
| Скорость нагрева | До 150 K/с |
| Скорость охлаждения |
|
| Температурный контроллер | Встроенный |
| Используемые газы |
|
| Электропитание | 3×32 А, 380 В, 3 фазы |
| Размер установки (Ш×Д×В) | 505×504×420 мм (настольное размещение) |
| Вес печи | 55 кг |
Опции:
- Дополнительные газовые линии с РРГ (всего до 4 шт)
- Держатели подложек из кварца, пирографита, графита, покрытого SiC
- Дополнительная термопара
- Различные вакуумные насосы
- Чиллер
- Дополнительная рабочая камера
