Производитель: Unitemp
Максимальный размер подложки | Диаметр 100 мм (4″) , рабочая область 100×100 мм |
Материал камеры | Кварцевое стекло (водоохлаждаемая камера) |
Высота камеры | 10 мм |
Система загрузки подложек |
|
Уровень вакуума | До 10-6 мбар (турбомолекулярный насос) |
Максимальная температура процесса | До +1200 °С |
Тип нагревателя | ИК-лампы (общая мощность 18 кВт) |
Зоны нагрева | Верхняя и нижняя (программируемые) |
Скорость нагрева | До 150 K/с |
Скорость охлаждения |
|
Температурный контроллер | Встроенный |
Используемые газы |
|
Электропитание | 3×32 А, 380 В, 3 фазы |
Размер установки (Ш×Д×В) | 505×504×580 мм (настольное размещение) |
Вес печи | 65 кг |