Набор шприцов с оснасткой для ручной подачи рабочего вещества на подложку
Набор идеально подходит для лабораторий и опытных производств, где нет необходимости в больших объемах выпуска продукции, прост в использовании и обслуживании.
В состав набора входят:
- два поршня с ручками (желтые);
- пять поршней без ручки (белые);
- пять емкостей объемом 30 см3;
- пять игл 18-го калибра длиной 12,7 мм из нержавеющей стали;
- пять гибких игл 18-го калибра длиной 12,7 мм из полипропилена;
- пять игл 25-го калибра длиной 12,7 мм из нержавеющей стали;
- пять гибких игл 25-го калибра длиной 12,7 мм из полипропилена;
- пять крышек широкого конца емкости (синие);
- пять крышек узкого конца емкости (синие).
Перистальтический насос
Перистальтический насос обеспечивает прецизионную подачу рабочего вещества в автоматическом режиме. Для предотвращения случайного стекания капель насос оснащен функцией обратного тока жидкости. Благодаря настройке скорости подачи или заданного объема, насос может быть использован как для операций нанесения фоторезиста, где требуется подача небольших порций, так и для непрерывной подачи реактивов при проведении операций проявления, отмывки или травления. Насос не требует подключения сжатого воздуха или использования дополнительных клапанов; для подачи вещества не требуется специальных сосудов, и реактив может подаваться непосредственно из своей емкости. Для работы с различными реактивами могут быть использованы различные трубки, их замена производится легко и быстро.
Система автоматической подачи рабочего вещества OPUS
Система автоматического распределения рабочего вещества OPUS состоит из модуля распределения с шаговым двигателем для точной дозировки, адаптеров для разных емкостей с фоторезистом, гибкой трубки для подачи рабочего вещества в центрифугу и модуля управления с сенсорным экраном. Система предназначена для подачи рабочего вещества на обрабатываемую подложку с точностью до 1 мкл. Благодаря своим параметрам точности система идеально подходит для исследовательских и лабораторных применений, а высокая степень автоматизации способствует ее успешному использованию в мелкосерийном производстве. Конфигурация и малый размер системы позволяют ее разместить на столе рядом с центрифугой. Система OPUS выпускается в трех разных вариантах — с максимальной единовременной подачей 10 мл, 20 мл или 50 мл рабочего вещества.
Показать еще
