Стилусный профилометр DP100B

Корпус

Напольный, встроенная защита от вибраций

Загрузка/выгрузка пластин

Ручная загрузка

Размер пластин

Толщина

Макс. Ø200мм (опциональноØ300мм)

≤10 мм

Размер стола

Ø240 мм

Высота ступени зонда

Воспроизводимость измерений

Вертикальное разрешение

Диапазон усилия зонда

Скорость выборки

Направление сканирования

Максимального количества точек сканирования

80 мкм

≤ 0.5нм (1sigma на ступеньке 1 мкм)

0,05 нм (по всему диапазону)

0,5 ~ 50 мг

200 Гц

Двунаправленное

2 миллиона точек

Режим движения стола для образцов

Скорость сканирования по Z:

Максимальная длина сканирования по X-Y

Горизонтальное направление (X/Y) и вращение (RZ)

Ход по X-Y 150x150мм, ход по Z 10мм

Вращение стола: ±360°

Область сканирования по Z: 80мкм (разрешение 0.05 нм)

5 мкм/с ~ 50 мкм/с

55мм

Характеристики зонда

Радиус кривизны ≥2 мкм, угол 60° (другие спецификации опционально)

Калибровочный образец

высота ступеньки 1мкм

Две камеры высокого разрешения

Функции программного обеспечения

Наблюдение под углами 90° и 45°

Измерение шага, шероховатости и других параметров рельефа поверхности, измерение напряжения

Система управления

ПК с комплектом ПО (OS Windows), монитор

Язык ПО: английский

Встроенные стандарты по ISO/ASME/EUR/GBT для 2D, 3D параметров

Построение 2D, 3D изображений; линейные измерения