Стилусный профилометр DP100B
- Корпус: Напольный, встроенная защита от вибраций
- Размер стола: Ø240 мм
- Размер пластин: Макс. Ø200мм
- Толщина: ≤10 мм
- Загрузка/выгрузка пластин: Ручная загрузка
- Характеристики зонда: Радиус кривизны ≥2 мкм, угол 60°
Стилусный профилометр — это высокоточный измерительный прибор, предназначенный для анализа микрорельефа и структуры поверхности различных материалов. Он используется для контактного измерения параметров поверхности с помощью тонкой иглы (стилуса), которая перемещается по образцу и фиксирует его профиль.
Основные задачи и применения
- Измерение параметров шероховатости (например, Ra, Rz, Rq) и микрорельефа поверхности.
- Определение высоты ступенек, глубины канавок, толщины пленок и покрытий.
- Анализ формы, прогиба, текстуры и равномерности покрытия поверхности.
- Выявление структурных дефектов и оценка качества обработки поверхности.<
- Измерение внутренних напряжений в тонких пленках и слоях.
- Проведение 2D и 3D визуализации поверхности для научных и производственных задач.
Преимущества стилусных профилометров
- Высокая точность и разрешение до 0,05 нм (по всему диапазону)
- Возможность анализа сложных поверхностей и тонких пленок без их повреждения (благодаря минимальному усилию зонда).
- Надежная повторяемость результатов и автоматизация измерений.
Принцип работы
- Стилус (игла) с коническим наконечником опускается на поверхность образца и перемещается по ней, следуя ее рельефу. Вертикальные перемещения иглы регистрируются высокочувствительным датчиком, что позволяет строить точный профиль поверхности в 2D или 3D.
Технические характеристики
|
Корпус |
Напольный, встроенная защита от вибраций |
|
Загрузка/выгрузка пластин |
Ручная загрузка |
|
Размер пластин Толщина |
Макс. Ø200мм (опционально Ø300мм) ≤10 мм |
|
Размер стола |
Ø240 мм |
|
Высота ступени зонда Воспроизводимость измерений Вертикальное разрешение Диапазон усилия зонда Скорость выборки Направление сканирования Максимального количества точек сканирования |
80 мкм ≤ 0.5нм (1sigma на ступеньке 1 мкм) 0,05 нм (по всему диапазону) 0,5 ~ 50 мг 200 Гц Двунаправленное 2 миллиона точек |
|
Режим движения стола для образцов Скорость сканирования по Z: Максимальная длина сканирования по X-Y |
Горизонтальное направление (X/Y) и вращение (RZ) Ход по X-Y 150x150мм, ход по Z 10мм Вращение стола: ±360° Область сканирования по Z: 80мкм (разрешение 0.05 нм) 5 мкм/с ~ 50 мкм/с 55мм |
|
Характеристики зонда |
Радиус кривизны ≥2 мкм, угол 60° (другие спецификации опционально) |
|
Калибровочный образец |
высота ступеньки 1мкм |
|
Две камеры высокого разрешения Функции программного обеспечения |
Наблюдение под углами 90° и 45° Измерение шага, шероховатости и других параметров рельефа поверхности, измерение напряжения |
|
Система управления |
ПК с комплектом ПО (OS Windows), монитор Язык ПО: английский Встроенные стандарты по ISO/ASME/EUR/GBT для 2D, 3D параметров Построение 2D, 3D изображений; линейные измерения |
