Описание
Центрифуга Apogee Spin Coater предназначена для одиночной обработки пластин размером до 200 мм (опционально 300 мм) или квадратных подложек с габаритами до 177×177 мм. Химически и коррозионностойкий материал рабочей чаши позволяет использовать все виды химических реактивов. Различные системы подачи фоторезиста в центрифугу, различные варианты держателей подложек, опция отмывки обратной стороны (BSR – back side rinse), опция удаления краевого валика (EBR – edge bead removal), делают центрифугу Apogee Spin Coater универсальным решением практически для любых задач. Управление центрифугой производится при помощи цветного сенсорного дисплея с GUI-интерфейсом. Инновационное программное обеспечение DataStream™ позволяет осуществлять работу по рецептам и анализировать рабочие параметры в режиме реального времени. Предусмотрены USB и Ethernet порты для экспорта/импорта данных. Конструкция центрифуги Apogee Spin Coater выполнена по принципу «plug&play», тем самым обеспечивается простая инсталляция и легкое освоение для пользователей любого уровня.
Для заказа доступны как настольный вариант размещения, так и встраиваемый вариант для интеграции в рабочий модуль X-Pro II.
Область применения
- Нанесение фоторезиста, полиимида, золь-гель (sol-gel).
- Фотолитография.
Особенности
- Дозирующие насадки для использования 5−ти различных фоторезистов одновременно.
- Ручная или автоматическая подача фоторезиста.
- Быстрая смена подложкодержателя под пластины различного размеры.
- Возможность работы c фоторезистами c низкой и средней вязкостью (до 5000 cP): DUV BARCs, фоторезист JSR M91Y/M230Y, Microposit S1800, AZ 1500 resist, PMMA, AZ 5200.
- Возможность работы c фоторезистами c высокой вязкостью (до 50000 cP): фоторезист MicroChem SU-8, Shipley BPR-100, Futurex NR9, MircroChem LOR, MicroChem PMGI, AZ 4600, AZ 9200, Shin-Etsu MicroSi SIPR 9740, Fujifilm Durimide, полиимид HD Microsystems 2610-2620.
- Простой интерфейс управления с цветным сенсорным дисплеем 7" и инновационным ПО DataStream™.
- Лидирующий на рынке показатель надежности и времени безотказной работы.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Максимальный диаметр подложки | 200 мм (опционально 300 мм) Фотошаблоны до 177×177 мм |
| Скорость вращения Разрешение Воспроизводимость |
0 – 12.000 об/мин (регулируется в ПО) < 0.2 об/мин < 0.2 об/мин |
| Ускорение скорости вращения | 0 – 30.000 (об/мин)/с (без подложки) 0 – 23.000 (об/мин)/с (с пластиной 200 мм) |
| Тип корпуса | Настольный или встраиваемый |
| Материал чаши | Химически и коррозионностойкий полиэтилен (HDPE) |
| Подача фоторезиста | Ручная или автоматическая |
| Линия подачи фоторезиста | 1-5 шт. |
| Отмывка обратной стороны (BSR) | Имеется для пластин Ø50-200 мм |
| Удаление краевого валика фоторезиста (EBR) | Имеется для пластин Ø50-200 мм |
| Управление |
|
| Габариты (Ш×В×Г) | 336×483×457 мм |
| Вес | 21 кг |
| Дополнительные опции |
|
