Система механических напряжений DP-FS8R

Установка DP-FS8R представляет собой удобное и компактное решение для контроля и измерения механических напряжений полупроводниковых пластин бесконтактным методом (лазерное сканирование как у FLX-2320 (Toho Technology Inc.)). Обеспечивает высокую точность, стабильность и повторяемость результатов в широком диапазоне измерений. Интуитивно понятный интерфейс и небольшие размеры установки - идеальное решение для ежедневного рутинного исследования большого количества образцов. Позволяет проводить измерения пластин диаметром 100 – 200 мм (опционально до 300 мм).

Область применения

• Измерение механических напряжений тонких пленок на поверхности полупроводниковых пластин бесконтактным методом.
• Контроль поверхности пластин после технологических операций проволочной резки слитков, шлифовки, полировки, утонения, травления и нанесения тонких пленок.

Особенности

• Наличие двухволнового лазера позволяет в автоматическом режиме переключаться в зависимости от отражающей поверхности образца, что позволяет проводить измерения широкого спектра различных материалов тонких пленок на подложках из Si, poly-Si, SiC, GaAs, GaN, Ge, InP и др.
• Встроенное программное обеспечение позволяет вращать объект измерения, имеет удобный интерфейс для управления и представления результатов измерений, в том числе высоту прогиба и диаграмму напряжений.
• Экспорт данных 3D моделей напряжений.
• Наличие журнала записи с возможностью просмотра результатов измерений.

Параметры измерения