Назад Назад

Установка сушки фоторезиста Apogee Bake Plate

Производитель:
Остаток на складе:
Под заказ
Цена:
Цена по запросу

Установка сушки фоторезиста Apogee Bake Plate применяется для сушки фоторезиста, BCB и др. материалов на подложках диаметром до 200 мм. Основными преимуществами данной установки являются: компактный дизайн, точность поддержания температуры, равномерность термообработки, лидирующий на рынке показатель надежности и времени безотказной работы. Максимальная температура обработки составляет 300˚С (опционально 400˚С). Управление установкой осуществляется при помощи цветного сенсорного дисплея с GUI-интерфейсом. Инновационное программное обеспечение DataStream™ позволяет осуществлять работу по рецептам и анализировать рабочие параметры в режиме реального времени. Предусмотрены USB и Ethernet порты для экспорта/импорта данных. Опционально доступно: функция подачи паров ГМДС из барботера, программируемый нагрев с заданием до 8 температурных точек в 1 рецепте (ступенчатый нагрев), программируемые электрические пины с заданием до 10 различных высот, напуск азота в рабочую область. Конструкция установки сушки фоторезиста Apogee Bake Plate выполнена по принципу «plug&play», тем самым обеспечивается простая инсталляция и легкое освоение для пользователей любого уровня.

Для заказа доступны как настольный вариант размещения, так и встраиваемый вариант для интеграции в рабочий модуль X-Pro II.

Технические характеристики

Параметр Значение
Размер рабочей зоны
Размер подложки
254×254 мм
До Ø200 мм или 200×200 мм
Режимы сушки Контактный, вакуумный прижим, с зазором
Температура обработки 25 - 300˚С (опционально 400˚С), разрешение 0.1°С
Равномерность температуры 0.3% (по поверхности образца при t=110˚С)
Время обработки 0-9999.9 с, разрешение 0.1 с (регулируется в ПО)
Управление
  • Цветной сенсорный LCD дисплей 7"
  • Встроенный контроллер c новейшим ПО DataStream™ для отображения параметров процесса в режиме реального времени
  • Работа по рецептам
  • USB/Ethernet порты для загрузки/выгрузки параметров рецепта
  • Экспорт данных в Excel
  • Энергосберегающий режим работы
  • Встроенные защитные блокировки для безопасной работы
Габариты (Ш×В×Г) 337×483×305 мм
Вес 30 кг
Дополнительные опции
  • Система подачи паров ГМДС
  • Программируемая вытяжка для рабочей зоны
  • Программируемые электрические пины
  • Программируемый нагрев (до 8 температурных точек в 1 рецепте)
  • Напуск азота
Показать еще