55 / 106
Д Е К А Б Р Ь 2016 №4 (12)
53
В каталоге «Технологическое обо-
рудование для микроэлектроники
2016» компании «Диполь» машины
для фотолитографии занимают цент-
ральное место. И это неслучайно, ведь
все, что связано с фотолитографией
(особенно безмасковой), вызывает
огромный интерес заказчиков. В ходе
недавнего семинара «Современные
решения в фотолитографии» специа-
листы «Диполя» впервые продемон-
стрировали участникам новую машину
совмещения-экспонирования SLC.
На сегодня контактная фотолито-
графия является достаточно простым
и доступным инструментом формиро-
вания топологии на подложках, как
в варианте для проведения исследо-
ваний, так и в серийном производст-
ве. Поэтому естественно, что многие
заказчики компании «Диполь» ин-
тересуются машинами совмещения-
экспонирования. Несколько лет назад
в нашем каталоге была представлена
серия AG500, в которой до настоящего
момента был ряд полуавтоматических
установок для работы с пластинами
размером до 4” и 6” в версиях -4N-ST
и -6N-ST соответственно. Преимуще-
ства этих машин уже неоднократно от-
мечались. Следует еще раз напомнить
о тех из них, благодаря которым уста-
новки завоевали такую популярность
среди наших заказчиков:
–
гибкость и универсальность
оснастки позволяет машинам
AG500 работать с подложками
и шаблонами всех типоразмеров,
которые используются заказчи-
ками в нашей стране, включая
пластины 60×48 мм и шаблоны
75×75 мм;
–
при одном нажатии кнопки в по-
луавтоматическом режиме уста-
новка выполняет весь процесс,
запрашивая у оператора только
точное совмещение меток и под-
тверждение начала процесса;
–
одно из лучших соотношений
функционала, качества изготов-
ления и цены.
Таким образом, машина AG500
в версии -ST, по нашему мнению, пред-
ставляется оптимальным вариантом
для выполнения задач совмещения-
экспонирования. Почему же появилась
версия SLC?
Дело в том, что в нашей стране
большое количество заказчиков ра-
ботает с подложками из поликора
и ситалла с типоразмером 60×48 мм.
Это традиционная для нас технология,
которая не предполагает на данный
момент высоких разрешений (менее
1 мкм), а основными требованиями,
предъявляемыми к оборудованию,
служат простота, надежность, повто-
ряемость результата и низкая стои-
мость. Если к этому набору харак-
теристик добавить удобство работы
оператора, то и появляется концепция
полностью ручной установки совме-
щения-экспонирования SLC, которую
мы совместно с нашими тайваньскими
партнерами — производителями обо-
рудования специально разработали
для российских пользователей.
Константин Крупальник,
руководитель направления
«Микроэлектроника» компании «Диполь»
kk@dipaul.ru