56 / 106
54
Оборудование
Что же представляет собой ма-
шина AG500 в версии SLC и чем она
отличается от версии ST? Как было
отмечено, машина SLC предполагает
полностью ручное управление и не
содержит персонального компьюте-
ра (ПК) или программируемого логи-
ческого контроллера (ПЛК), а также
различных сложных моторизованных
механизмов, контролируемых элек-
троникой. За счет этого функционал
установки несколько упрощен, что не
критично, например, для работы с то-
пологической нормой более несколь-
ких единиц микрон. В то же время
машина становится значительно более
надежной, простой и недорогой в изго-
товлении. Концепция работы SLC пред-
полагает, что оператор производит все
действия нажатием кнопок на перед-
ней панели установки вместо управле-
ния на сенсорном экране ПЛК. Кроме
того, в базовой комплектации установ-
ка не содержит массивного стола для
защиты от вибраций (он предлагается
опционально). Это также позволяет
Рис. 1. Установка совмещения-экспонирования
AG500-6N-SLC в версии для пластин
60×48 мм
сэкономить тем заказчикам, которые
не работают с топологиями высокого
разрешения. Получается, что SLC —
это «облегченная» версия машин ST,
когда критерии простоты и стоимости
важнее высокой точности и макси-
мального разрешения. Следует отме-
тить, что опции по работе с обратной
стороной подложки (совмещение по
обратной стороне) в настоящий момент
недоступны для версии SLC.
SLC — это «облегченная»
версия машин ST, когда
критерии простоты
и стоимости важнее
высокой точности
и максимального
разрешения