58 / 106
56
Знания
Новое
в фотолитографии
Семинар, подготовленный специа-
листами направления «Микроэлектро-
ника» компании «Диполь», собрал бо-
лее 50 технологов и профессионалов
отрасли, представляющих в основном
предприятия радиоэлектронной про-
мышленности и исследовательские
институты Москвы, Санкт-Петербурга,
Нижнего Новгорода, Томска и других
городов.
Мероприятие было посвящено тех-
нологиям и оборудованию для фото-
литографии, применяемым в совре-
менных лабораториях и на производ-
ствах. В теоретической части встречи
слушателям были представлены тех-
нологические особенности ключевых
процессов фотолитографии, таких
как очистка и подготовка подложек,
нанесение фоторезиста, совмещение
и экспонирование. Особенно подробно
рассматривались наиболее эффектив-
ные современные технологические ре-
шения, в том числе плазменная обра-
ботка поверхности, спрей-нанесение
фоторезиста, безмасковая оптическая
литография. В практической части
семинара демонстрировалось техно-
В офисе компании «Диполь» в Санкт-Петербурге
состоялся двухдневный практический семинар
«Современные решения в фотолитографии».
логическое оборудование: установка
плазменной обработки с различными
генераторами газа; центрифуга, термо-
плита и оснастка для работы с фото-
резистом.
Организаторы семинара выра-
жают благодарность всем его гостям
и приглашают всех желающих специ-
алистов принять участие в следую-
щих образовательных мероприятиях
компании. Информацию о них можно
найти на сайте компании «Диполь»
в разделе «Знания».