57 / 106
Д Е К А Б Р Ь 2016 №4 (12)
55
Рис. 2. Система совмещения при помощи
видеомикроскопов. Контрастные и четкие
метки на мониторах вместо использования
оптического микроскопа
К общим характеристикам вер-
сий ST и SLC можно отнести высокую
производительность,
универсаль-
ность оснастки для подложек и фото-
шаблонов, а также наличие видеоми-
кроскопов. Производительность в обе-
их версиях позволяет засвечивать бо-
лее 60 пластин в час, в зависимости от
применяемого фоторезиста. Разница
лишь в том, что в версии ST опера-
тор нажимает одну кнопку и работа-
ет с микрометрическими винтами или
джойстиком, а в версии SLC оператору
необходимо выполнить последова-
тельность действий по нажатию ряда
механических кнопок, что более трудо-
емко. Видеомикроскопы же значи-
тельно облегчают жизнь оператору:
ему не приходится на протяжении всей
смены вглядываться в окуляры оптиче-
ского микроскопа — теперь оператор
отслеживает картинку на LCD-экране,
где видны яркие, контрастные метки
совмещения.
Подводя итог, хочется отметить,
что теперь в распоряжении компании
есть интересное решение по совме-
щению-экспонированию в сегменте
оборудования с ручным управлением.
Это машина AG500 серии SLC, позво-
ляющая заказчику за минимальную
стоимость получить высоконадежное,
точное и удобное оборудование. На-
иболее актуальное применение для
машин SLC — работа с топологией
разрешения более нескольких микрон,
в том числе со всеми задачами форми-
рования топологии на поликоре и си-
талле с типоразмером 60×48 мм.
В ближайшее время установка
AG500-6N-SLC доступна для озна-
комления в демозале офиса компании
«Диполь» в Санкт-Петербурге. Также
мы представим данную машину на вы-
ставке «Электронтехэкспо» в 2017 году.
Подробную информацию об установках
совмещения-экспонирования AG500
SLC можно найти на сайте компании
в разделе «Оборудование для микро-
электроники»
(www.micro.dipaul.ru)или запросить ее по электронной
почте:
micro@dipaul.ru.