Назад Назад

Печь быстрого термического отжига VPO-300

Производитель:
Остаток на складе:
Под заказ
Цена:
Цена по запросу

Установки UniTemp серии VPO предназначены для быстрой высокотемпературной обработки полупроводниковых пластин и плоских подложек большого размера. Настольные компактные установки VPO прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.

Установка VPO-300 позволяет работать с образцами до 300 мм в диаметре. Рабочая нагреваемая область: 300×300мм. Загрузка подложек в рабочую камеру производится вручную при помощи автоматического подъемного механизма крышки камеры. Максимальная температура процесса — до +1000 С. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде. Управление осуществляется при помощи встроенного микроконтроллера с сенсорным экраном.

Опции

  • Дополнительные газовые линии с РРГ (всего до 3 шт.)
  • Держатели подложек из кварца, пирографита, графита, покрытого SiC
  • Дополнительная термопара (всего до 4 шт.)
  • Увеличение высоты камеры до 120 мм
  • Различные вакуумные насосы
  • Чиллер
  • Исполнение камеры из нержавеющей стали
  • Специальные опции под заказ

Технические характеристики установки VPO 300

Максимальный размер подложки Диаметр 300 мм (12″), рабочая область 300×300 мм
Материал камеры Алюминий (опционально – нержавеющая сталь)
Высота камеры 50 мм, опционально до 120 мм
Система загрузки подложек
  • Держатель из кварцевого стекла
  • Опциональный держатель из пирографита или графита, покрытого SiC
Уровень вакуума До 10-3 мбар
Максимальная температура процесса До +1000 °С
Тип нагревателя
  • ИК-лампы:
    - Нагрев снизу, мощность 21 кВт
    - Нагрев сверху, мощность 21 кВт (опционально)
Зоны нагрева Верхняя и нижняя (программируемые)
Температурный контроллер Встроенный
Используемые газы Азот, кислород, форминг-газ В базовой комплектации один ротаметр с цифровым дисплеем 5 slm
Электропитание 3×32 А, 380 В, 3 фазы
Размер установки (Ш×Д×В) 540×690×890 мм (настольное размещение)
Вес печи 100 кг
Показать еще