Производитель: Plasma-Therm
Размер электрода | 12″ (305 мм) в диаметре |
Температура электрода | Определяется типом процесса. Используется чиллер. Стандартно +5...45 °С, доступны другие варианты. |
Материал электрода | Алюминий/алюминий с графитовым покрытием. Опционально доступны другие материалы |
Тип плазмы | Емкостная |
ВЧ-генератор | 600 Вт, 13,56 МГц |
Вакуумная камера | Изготовлена из цельного блока алюминия. Опциональная внешняя система прогрева |
Откачная система |
Форвакуумный насос 40–100 м3/ч, масляный или безмасляный Турбомолекулярный насос 250–350 л/с с керамическими подшипниками Возможна установка других насосов по ТЗ заказчика |
Уровень вакуума | <10-6 торр |
Контроль давления процесса | Автоматический |
Газовые линии с цифровыми РРГ | 4 линии (стандартно). Опционально до 10 линий |
Система контроля, ПО | ПЛК (XP/Windows 7), DeviceNet |
Электропитание | 380 В, 50 Гц, 3 фазы |
Габариты установки (Ш×Г×В) |
730×934×2147 мм с газовым шкафом на каркасе 730×934×1172 мм без газового шкафа на каркасе Возможно размещение газового шкафа отдельно от каркаса установки |
Сертификация | CE, SEMI-2, S8 |