Производитель: Plasma-Therm
Размер электрода | 16″ (406 мм) в диаметре |
Температура электрода | Определяется типом процесса. Используется чиллер. Стандартно +20...25 °С, доступны другие варианты. |
Материал электрода | Алюминий |
Тип плазмы | Емкостная |
ВЧ генератор | 600 Вт, 13,56 МГц. Опционально 1200 Вт, 13,56 МГц |
Вакуумная камера | Изготовлена из цельного блока алюминия. |
Откачная система |
Форвакуумный насос 80 м3/ч, сухой безмасляный Турбомолекулярный насос 300 л/с Возможна установка других насосов по ТЗ заказчика |
Уровень вакуума | <10-6 торр |
Контроль давления процесса | Автоматический |
Газовые линии с цифровыми РРГ | 4 линии (стандартно). Опционально до 8 линий |
Система контроля, ПО | Cortex на базе Windows 7 |
Электропитание | 380 В, 50 Гц, 3 фазы |
Габариты установки (Ш×Г×В) | 667×1146×1880 мм |
Сертификация | CE, SEMI-2, S8 |
Удаленный мониторинг состояния системы | SECS/GEM |