Плазмохимическое травление
27 товаров
в каталоге
в каталоге
26 доступно под заказ,
доставка возможна по всей России
доставка возможна по всей России
Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического травления
|
Характеристика\ Модель |
Тип загрузки |
Область загрузки (диаметр, мм) |
Тип плазмы |
Травление материалов |
|---|---|---|---|---|
| Plasma-Therm Vision 320 RIE | Открытая / Бокс | 305 | RIE | SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды |
| Plasma-Therm Vision 420 RIE | Открытая | 406 | RIE | SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды |
| Plasma-Therm Takachi ICP | Шлюз | 200 | RIE-ICP | GaN, GaAs, AlGaP, InP, InGaAs, HgCdTe, SiC, Al2O3, DLC, Si, SiO2, SixNy, Cr, Ti, Al, TiN, TiW, Mo, резисты, полиимиды |
| Plasma-Therm Versaline RIE | Шлюз/ кассетная/ кластер | 200 | RIE | SiO2, SiNx, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды |
| Plasma-Therm Versaline RIE-ICP | Шлюз/ кассетная/ кластер | 200 | RIE-ICP | GaN, GaAs, AlGaP, InP, InGaAs, HgCdTe, SiC, Al2O3, DLC, Si, SiO2, SixNy, Cr, Ti, Al, TiN, TiW, Mo, резисты, полиимиды |
| Plasma-Therm Versaline DSE | Шлюз/ кассетная/ кластер | 200 | ICP | Глубокое травление кремния |
